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椭圆仪调整问题
Swustlijiang

如果你只使用椭圆仪Psi和Delta数据设置,首先找到清晰的带(cauchy / genosc),然后调整厚度然后逐点调整以获得所需的带用于设置厚度。调整后(或其他振动器型号),返回原始数据(psi,Delta)以确定振动器是否可疑(基于振动器振幅)并在90度内感觉正确。置信区间,可以认为相关数据是可靠的,并且如果消除粗糙度和电子邮件的影响,则数据更准确。
(2)也可以将椭圆偏振仪数据(psi,delta)与斜坡数据结合使用。联合调节T(反射放大器;传输)。该方法对于膜厚度为200nm或更小的膜是有效的,并且可以更快地进行调节并且可以获得准确的数据。
然而,需要在玻璃中制备样品,数据转换是必要的,并且尽管困难,但是可以精确地获得光学常数和厚度。
我想我可以帮到你,


 
 
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